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工業局副局
長呂正華表示，若2家公司未來都能將研發能量留在台灣，繼續支持國內半導體發展，並持續往下世代10奈米等技術推進，對此併購案會
有比較正面的看法。
投審會表示，若漢微科股東會通過該案，ASML得先向投審會遞案申請外人投資，核准後才能併購，一般而言，文件齊備下，最快2個月內可得知結果。
工業局表示，漢微科與ASML早有技術合作，以前在技術合作過程中就曾談到購併，且已談了一段時間。2家公司產品並無重疊，未來技術開發具有互補性。待業者向經濟部遞交申請時，將朝3大面向評估，包括：一、未來員 工就業保障，二、未來投資規畫，三、對國內半導體產業是否有助益。
工研院知識及競爭力中心主任杜紫宸也認為，加入世界第1名團隊，漢微科將有更大的一片天，就像王建民、陳偉殷到美國大聯盟打球，比留在台灣職棒更能發揮成長，其理相同。何況 ASML有了台灣本土研發據點與團隊，將可以強化支持台積電、聯電、日月光在台生產 與設計實力，台灣與荷蘭將可以達到雙贏目標。
股后漢微科被荷商艾司摩爾（ASML）收購，經濟部長李世光昨（16）日表示，台灣產業需要國際競爭力，且漢微科研發中心根留台灣，不算產業出走。經濟部次長沈榮津也說，ASML是半導體曝光設備第一把交椅，雙方策略聯盟對產業布局正向，可把我產業納入國際供應鏈。
工商時報【劉靜瑀、呂雪彗╱台北報導】
至於研發中心是否留在台灣？官員指出，ASML在全球都有研發中心，漢微科在美國、台灣、大陸皆有研發據點，目前業者僅透露「確實有考慮持續（在台）投資」，這也是未來官方重要審查標準之一。
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